德国PFEIFFER CMR364 真空计核心技术特点
点击次数：21 更新时间：2026-04-01
德国PFEIFFER CMR364 真空计核心技术特点
CMR364 是普发真空推出的高精度陶瓷电容薄膜真空计，采用纯电容式传感原理，专为中低真空精密测量设计，无热丝结构，测量稳定、抗干扰能力强，主要面向半导体、镀膜、检漏及科研真空系统。
一、核心测量原理
采用高纯氧化铝陶瓷电容薄膜传感器，压力作用使陶瓷膜片发生微小形变，引起电极间电容变化，通过电路将电容变化线性转换为电压信号输出。全程为直接压力测量，不依赖热传导，无气体种类修正问题。
二、核心技术特点
- 测量与气体种类无关纯电容式原理，不受气体分子量、导热系数影响，空气、惰性气体、活性气体、腐蚀性气体测量结果一致，无需修正系数，测量值真实可靠。
- 超高精度与优异稳定性测量精度高，读数误差小，分辨率精细，可满足精密真空工艺控制需求。零点与量程温漂极低，内置完善温度补偿，环境温度变化对测量影响小。无老化、无记忆效应，长期使用漂移小，可大幅减少校准频次。
- 极快响应速度响应时间短，能快速捕捉真空系统压力波动，适合动态压力监测与自动控制闭环。
- 耐冲击、耐污染、抗腐蚀传感器采用陶瓷与不锈钢结构，机械强度高，可承受大气压冲击，无需额外保护阀。抗粉尘、抗蒸汽、抗部分腐蚀性介质，适合恶劣工业真空环境。
- 无热丝、无自加热、无干扰内部无加热丝结构，不会对真空环境产生热干扰，不会因高温造成介质分解或副反应，适用于对温度敏感的工艺。
- 工业级电气与安装适配性标准直流供电，适配工业现场电源。输出线性模拟信号，可直接接入 PLC、控制器或显示仪表。支持多种真空接口，安装灵活，结构紧凑坚固，适合设备集成与长期连续运行。低功耗、长寿命工作功耗低，无发热部件，无机械磨损部件，在连续工况下具备较长使用寿命，维护成本低。
德国PFEIFFER真空泵典型适用场景
中低真空段精密压力监测、真空镀膜工艺控制、半导体工艺腔体压力测量、氦检漏配套、真空炉与热处理设备、科研实验室高稳定真空测量等。
