PFEIFFER CMR361 真空计核心技术原理
点击次数：12 更新时间：2026-04-01
德国PFEIFFER CMR361 真空计核心技术原理
PFEIFFER CMR361 是德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）推出的皮拉尼 + 压阻复合式全量程真空计，核心优势是从大气压到高真空（1000 mbar～1×10⁻⁴ mbar）无缝连续测量，兼具高精度、快响应与工业级可靠性，广泛用于真空系统全程压力监控。
一、核心技术原理
CMR361 采用双传感器智能融合 + 自动量程切换技术，在全量程内始终以原理测量：
压阻（Piezo）测量段（1000～1 mbar）
基于陶瓷电容薄膜传感器，通过压力引起的膜片形变改变电容值，直接测量气体压强。
优势：不受气体种类影响、无记忆效应、耐污染、温度补偿优异。
皮拉尼（Pirani）测量段（1～1×10⁻⁴ mbar）
基于热传导原理，通过测量加热丝电阻变化，间接反映气体分子密度与压力。
优势：在中低真空段灵敏度高，适合动态真空过程监测。
智能切换机制
内置处理器自动识别压力区间，平滑切换两种测量模式，输出连续稳定信号，无断点、无干扰。
二、关键技术参数
表格
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 测量范围 | 1000 mbar ～ 1×10⁻⁴ mbar（无缝覆盖） |
| 测量精度 | 0.2%～0.5% of reading（量程内） |
| 分辨率 | 0.003% F.S.（满量程） |
| 响应时间 | ≤130 ms |
| 输出信号 | 2 路 0–10 V 线性模拟量；3 路继电器触点；RS485（Modbus RTU） |
| 供电 | 24 V DC，功耗≤1 W |
| 过程连接 | DN 16 ISO-KF 法兰（标准） |
| 接触材质 | 99.5% 高纯氧化铝陶瓷（Al₂O₃）、316L 不锈钢 |
| 耐温 | 法兰段烘烤温度 110 ℃ |
| 环境温度 | 工作：+5～+50 ℃；存储：-40～+65 ℃ |
| 耐压 | 2 bar（绝压） |
| 重量 | ＜300 g |
| 信号传输距离 | 最长 120 m |
三、核心技术特点
全量程无缝测量
单台设备覆盖大气压至高真空，替代传统多真空计组合方案，简化系统、降低成本。
高精度与稳定性
陶瓷传感器 + 精密温度补偿，零点漂移极低（0.02% F.S./℃），长期稳定性优异。
无机械磨损、无老化，适合连续工业工况。
工业级通信与控制
标配模拟量 + 数字通信（RS485/Modbus），兼容 PLC/DCS 系统，支持远程监控与自动控制。
内置继电器可实现压力超限报警、联锁保护。
紧凑型设计
体积小、重量轻，安装灵活，适配空间受限的真空设备与系统。
耐污染与抗腐蚀
陶瓷与不锈钢材质，抗腐蚀性气体，适合半导体、镀膜、化工等严苛环境。
四、典型应用场景
真空镀膜设备（PVD、CVD、PECVD）全程压力监控。
半导体制造（刻蚀、离子注入）真空系统控制。
真空炉、热处理设备工艺压力监测。
检漏设备、真空干燥、冷冻干燥系统。
科研实验室真空装置、质谱仪配套测量。
五、技术优势总结
CMR361 以复合传感 + 智能切换为核心，解决了传统真空计 “量程割裂、切换复杂、稳定性差" 的痛点，实现全量程、高精度、快响应、高可靠的真空测量，是工业真空过程自动化监控的优选方案。
