INFICON Gemini MPG500 3MBO-006-000 真空计技术说明
INFICON Gemini MPG500 3MBO-006-000 真空计技术说明
一、产品概述
二、核心测量参数
测量范围：1×10⁻⁹ mbar ～ 1000 mbar
皮拉尼测量段：大气压～1×10⁻³ mbar
冷阴极测量段：1×10⁻³ mbar～1×10⁻⁹ mbar
重复性：±2% 读数
响应速度：中真空段小于 100ms，高真空段约 1 秒
三、电气与接口
供电电压：14～30VDC
通讯接口：RS485
模拟输出：1.15～10.215VDC 对数输出
配置两路可编程设定点继电器输出
电气接口：8 针 FCC 接口
四、机械与环境参数
连接法兰：KF25 快装法兰
腔体材质：316L 不锈钢
可烘烤温度： 250℃
工作环境温度：5～60℃
防护等级：IP40
承受过压：10bar 压力
五、工作原理
大气压至中真空区间，由皮拉尼传感元件通过气体热传导特性测量压力
中高真空至超高真空区间，自动切换为倒置磁控管冷阴极电离原理测量
内置智能算法实现两段量程无缝切换，全程无断点、无盲区
冷阴极结构无灯丝，不易损坏，抗污染能力更强，使用寿命更长
六、产品特点
单台覆盖超宽量程，减少多传感器安装与布线
无灯丝设计，耐冲击、耐破大气、不易烧毁
一体化结构，安装空间小，适配各类真空腔体
内置温度补偿，长期工作稳定性好、漂移小
支持数字通讯与模拟输出，方便接入 PLC 与控制系统
维护简单，污染严重时可直接更换传感单元
七、典型应用场景
半导体工艺设备：刻蚀、薄膜沉积、离子注入、键合设备
光学与功能镀膜设备：PVD、CVD 真空镀膜系统
工业真空炉：真空烧结、热处理、钎焊、脱脂炉
科研实验室设备：表面分析仪器、超导设备、真空试验装置
真空检漏系统与各类高真空、超高真空系统
八、安装与使用注意事项
安装时保证法兰密封清洁，密封圈完好无损伤
尽量避免油雾、粉尘、腐蚀性气体直接进入传感器
建议在进气端加装过滤器，延长使用寿命
远离强磁场、强振动位置安装，避免影响测量精度
通讯线缆采用屏蔽线并可靠接地，减少电磁干扰
设备出厂已校准，一般工况下无需现场频繁校准
九、INFICON 真空计常见故障处理
无显示或无输出：检查供电、接线及接口是否松动
读数不稳定：排查腔体污染、系统泄漏、振动干扰
冷阴极段不工作：确认真空度已进入对应区间，检查传感器污染情况
数值漂移明显：清洁传感器或更换传感单元，检查环境温度波动
