ALD3系列美国swagelok隔膜阀工作原理及组成

美国swagelok是半导体芯片制造应用的技术和解决方案提供商，同时也是 ALD 阀门技术的鼻祖。我们的 ALD 超高纯 (UHP) 阀具有以下特点：
高速启动下的超高循环寿命
Cv 范围从 0.27 至 1.7
使用热动元件时，全浸没温度高达 392°F (200°C)
适合于采用标准 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的 UHP 应用
模块化表面安装、卡套管对焊和 VCR端接
电子或光学执行机构位置传感选购件
ALD3系列美国swagelok隔膜阀工作原理及组成如下：
隔膜阀用耐腐蚀衬里的阀体和耐腐蚀隔膜代替阀芯组件，利用隔膜的移动起调节作用。隔膜阀的阀体材料采用铸铁、铸钢，或铸造不锈钢，并衬以各种耐腐蚀或耐磨材料、隔膜材料橡胶及聚四氟乙烯。衬里的隔膜耐腐蚀性能强，适用于强酸、强碱等强腐蚀性介质的调节。
隔膜阀的结构简单、流体阻力小、流通能力较同规格的其他类型阀大；无泄漏，能用于高粘度及有悬浮颗粒介质的调节。隔膜把介质与阀杆上腔隔离，所以没有填料介质也不会外漏。但是，由于隔膜和衬里材料的限制，耐压性、耐温性较差，一般只适用于1.6MPa公称压力和150℃以下。
隔膜阀的流量特性接近快开特性，在60%行程前近似为线性,60%后的流量变化不大。气动形式的隔膜阀尚可附装反馈信号、限位器及定位器等装置，以适应自控、程控或调节流量的需要。气动隔膜阀的反馈信号采用无触点传感技术。该产品采用薄膜式推进气缸，替代活塞气缸，排除了活塞环易损坏，造成泄漏而导致无法推动阀门启闭的弊端。当气源发生故障时，尚可操作手轮使阀门启闭。
ALD3系列美国swagelok隔膜阀密封原理：
隔膜阀的密封原理是靠操作机构的向下运动压下隔膜或隔膜组合件与堰式的衬里阀体或直通式衬里阀体的通道相密合，使之达到密封。密封比压的大小靠关闭件向下的压力大小来实现。由于阀体可以衬各种软质材料，如橡胶或聚四氟乙烯等；隔膜也是软质材料制成，如橡胶或合成橡胶衬里的聚四氟乙烯，故用较小的密封力就能达到*密封。 
隔膜阀只有阀体、隔膜和阀盖组合件三个主要部件。隔膜把下部阀体内腔与上部阀盖内腔隔开，使位于隔膜上方的阀杆、阀杆螺母、阀瓣、气动控制机构、电动控制机构等零部件不与介质接触，且不会产生介质外漏，省去了填料函的密封结构。
ALD 隔膜阀具有超长的使用寿命、高速的启动和高达 0.62 的流量系数，与热执行机构、位置传感器和电磁阀配合使用，可在原子层沉积应用场合实现佳性能。

ALD3系列美国swagelok隔膜阀规格：
工作压力 真空至 145 psig (10.0 bar)
爆裂压力 3200 psig (220 bar)
执行压力 50 至 90 psig（3.5 至 6.2 bar）
温度 32° 至 392°F（0° 至 200°C）
流量系数(Cv) 0.27 或 0.62
阀体材料 316L VIM-VAR 不锈钢
隔膜材料 钴基高温合金
端接
类型（尺寸） 内螺纹 VCR面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.）
外螺纹 VCR 面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.）
模块化表面安装高流量 C 型密封（1.125 in. 至 1.5 in.）
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